行業科普 | 離子源技術及其在真空鍍膜中的應用產品優勢:RF 系列射頻離子源博頓全自主研發的新型高階離子源系統,採用獨特設計與具有專利技術的中和器,完全擺脫傳統的熱陰極原理,可無耗材工作,連續工作時間能達到 1000 小時以上,利用多層立體柵網確保精準的離子束方向性,支援離子束流和能量2022-03-22離子源離子離子束博頓霍爾