總投資3.6億元!年產6萬大片!維信諾的矽基OLED也要來了......化學氣相沉積(CVD)是指將兩種或兩種以上的氣態原材料匯入到一個反應室內,然後他們相互之間發生化學反應,形成一種新的材料,沉積到晶片表面上的方法,該過程原子層沉積裝置、化學氣相沉積裝置,在450℃的高溫下,透過流量控制器精準控制加入三甲基鋁2021-12-07沉積清洗蒸鍍CVD氣體