小體積一維壓電旋轉臺

P21壓電旋轉臺為一維θz旋轉臺，產品體積小巧，旋轉角度可達到7。5mrad，承載能力達0。1kg，可帶動鏡片做精密旋轉運動。

產品運動示意圖

小體積、高解析度、高精度

P21一維旋轉臺採用機構放大設計原理， 可以實現7。5mrad的旋轉， 體積小巧、結構緊湊， 尺寸僅為60×60×15mm，非常易於整合到精密旋轉裝置中。採用壓電陶瓷作為驅動元件，臺體採用柔性鉸鏈機構，無摩擦、無回差，可以實現0。2μrad的解析度。內建SGS感測器配套閉環控制器可以實現微弧度的定位精度，在光路精密角度調整中起著非常重要的作用。

典型應用

頻率負載曲線

應用例項

P21系列壓電旋轉臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用，組成多軸精密壓電定位臺，用於多維精密直線與旋轉定位操作。

技術引數

型號：P21

運動自由度：θz

旋轉角度@120V：6mrad（~1240”）

旋轉角度@150V：7。5mrad（~1500”）

閉環感測器：SGS

閉/開環解析度：0。4（~0。085”）/0。2（~0。04”）

閉環線性度：0。5%F。S。

閉環重複定位精度：0。2%F。S。

推/拉力：10/5N

運動方向剛度：1N/μm

空載諧振頻率：1。1kHz

閉/ 開環空載階躍時間：30/1。5ms

承載能力：0。1kg

靜電容量：1。8μF

材質：鋁

重量：105g