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真空泵的選型及資料計算

2022-02-26由 農人潘興隆 發表于 農業

擴散泵為什麼不能單獨使用

第一部分:

選用真空泵時需要注意事項

1、真空泵的工作壓強應該滿足真空裝置的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高於真空裝置真空度半個到一個數量級。

2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強範圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強範圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強範圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個範圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦昇華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小於1×10-5mmHg為好。

3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空裝置工藝過程中產生的全部氣體量。

4、正確地組合真空泵。由於真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦昇華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低於大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

5、真空裝置對油汙染的要求。若裝置嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油汙染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。

6、瞭解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助裝置,如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有汙染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者採取防振動措施。

9、真空泵的價格、運轉及維修費用。

第二部分:水環式真空泵的選擇

一、泵型別的確定

泵的型別主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。

泵工作時,需要注意以下兩個方面:

1。儘可能要求在高效區內,也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區域內執行。

2。應避免在最大真空度或最大排氣壓力附近執行。在此區域內執行,不僅效率極低,而且工作很不穩定,易產生振動和噪音。對於真空度較高的真空泵而言,在此區域之內執行,往往還會發生汽蝕現象,產生這種現象的明顯標誌是泵內有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作。

根據以上原則,當泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求效能曲線在較高真空度時較平坦,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環-大氣泵或水環-羅茨真空機組作為抽真空裝置。

如果只作真空泵用,則選用單作用泵比較好。因為單作用泵的構造簡單,容易製造和維護,且在高真空情況下抗汽蝕性好。

如果僅作較大氣量的壓縮機使用,則選用雙作用的泵比較合適。因為雙作用泵的氣量大,體積小,重量輕,徑向力能得到自動平衡,軸不容易產生疲勞斷裂,泵的使用壽命較長。

二、根據系統所需的氣量選擇真空泵

初步選定了泵的型別之後,對於真空泵,還要根據系統所需的氣量來選用泵的型號。

真空泵的選型及資料計算

水環泵

真空泵選擇相關計算公式

1

、玻義爾定律

體積V,壓強P,P·V=常數

一定質量的氣體,當溫度不變時,氣體的壓強與氣體的體積成反比。

即P1/P2=V2/V1

2、蓋·呂薩克定律

當壓強P不變時,一定質量的氣體,其體積V與絕對溫度T成正比:

V1/V2=T1/T2=常數

當壓強不變時,一定質量的氣體,溫度每升高(或P降低)1℃,則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。

3、查理定律

當氣體的體積V保持不變,一定質量的氣體,壓強P與其絕對溫度T成正比,即:

P1/P2=T1/T2

在一定的體積下,一定質量的氣體,溫度每升高(或降低)1℃,它的壓強比原來增加(或減少)1/273。

4、平均自由程:

λ=(5×10-3)/P (cm)

5、抽速:

S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P

Q=流量(託·升/秒) P=壓強(託)V=體積(升) t=時間(秒)

6、通導:

C=Q/(P2-P1) (升/秒)

7、真空抽氣時間:

對於從大氣壓到1託抽氣時間計算式:

t=8V/S (經驗公式)

V為體積,S為抽氣速率,通常t在5~10分鐘內選擇。

8、維持泵選擇:

S維=S前/10

9、擴散泵抽速估算:

S=3D2 (D=直徑cm)

10、羅茨泵的前級抽速:

S=(0。1~0。2)S羅 (l/s)

11、漏率:

Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)

Q漏-系統漏率(mmHg·l/s)

V-系統容積(l)

P1-真空泵停止時系統中壓強(mmHg)

P2-真空室經過時間t後達到的壓強(mmHg)

t-壓強從P1升到P2經過的時間(s)

12、粗抽泵的抽速選擇:

S=Q1/P預 (l/s)

S=2。3V·lg(Pa/P預)/t

S-機械泵有效抽速

Q1-真空系統漏氣率(託·升/秒)

P預-需要達到的預真空度(託)

V-真空系統容積(升)

t-達到P預時所需要的時間

Pa-大氣壓值(託)

13、前級泵抽速選擇:

排氣口壓力低於一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低於臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據管路中,各截面流量恆等的原則有:

PnSg≥PgS 或

Sg≥Pgs/Pn

Sg-前級泵的有效抽速(l/s)

Pn-主泵臨界前級壓強(最大排氣壓強)(l/s)

Pg-真空室最高工作壓強(託)

S-主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)

14、擴散泵抽速計算公式:

S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)

式中:S-被試泵的抽氣速率(l/s)

n-滴管內油柱上升格數(格)

t-油柱上升n格所需要的時間(秒)

P-在泵口附近測得的壓強(託)

K-滴管係數(託·升/秒)

K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt

其中V0-滴管和真空膠管的原始容積(升)

L-滴管刻度部分的長度(mm)

n-滴管刻度部分的格數(格)

Υ0-油的比重(克/釐米3)

Υm-汞的比重(克/釐米3)

Pa-當地大氣壓強(託)

△Vt-滴管的刻度上的一格的對應的容積(升/格)

15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式:

S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)

式中:Z為旋片數,n為轉速(轉/分),L為泵腔長度,D為泵腔直徑,d為轉子直徑(cm),Kv為容積利用係數(一般取95%)。

16、O型橡膠槽深B=0.7D

D為橡膠直徑,槽寬C=1。6B

17、方形橡膠槽深B=

0.8A

A為方形橡膠邊長,槽寬C=1。67B

其它幾個公式:

真空容器的排氣時間

對於低真空和中真空的排氣時間,當洩漏量較小時,真空裝置從壓強P1降低到P2所需的排氣時間為:

t=2。3(V/S)lg(P1/P2)

式中

t

排氣時間,s

V:

真空裝置容積,L

S:

泵的有效抽氣速率,L/S

P1

,

P2

:

開始時容器的壓強和抽至所需的壓強,mmHg。

1。3倍

真空系統抽氣速率

Se

的計算方法:

連續作業系統

計算真空系統的總洩漏量Qs。

根據真空系統的容積進行的洩漏量估算:

1

真空泵的選型及資料計算

根據接頭密封長度進行的洩漏量估算:

2

真空泵的選型及資料計算

計算總抽氣量Q

Q=Q1+Q2+Q3

Q: 總抽氣量,kg/h

Q1: 真空系統工作過程中產生的氣體量,kg/h

Q2: 真空系統的放氣量,kg/h

Q3: 真空系統總洩漏量,kg/h

3、計算

Se

Se

QR(273+Ts)/PsM

R: 通用氣體常數 R=8。31kJ /(kmol*K)

Ts:抽出氣體的溫度,C

Ps:真空系統的工作壓力,kPa,G

M:抽出氣體的平均分子量

Se:真空系統的抽氣速率,m3 / h

間歇作業系統

Se

138V/t *lg(

P1/P2) m3 / h

真空泵的選用

1 根據真空系統的真空度和泵進口管道的壓力降,確定泵吸入口處的真空度(絕壓)

2

確定真空系統的抽氣速率

Se

3

Se

換算成泵廠規定條件下的抽氣速率

Se

一般可按照下式計算:

Se

’=

Se

273+[Ts]

/

273+Ts

[Ts]:泵標準進氣溫度

4 根據抽氣速率和真空度要求,按照下式選擇確定真空泵的型別

要求真空泵的抽氣速率S滿足:

S >(20%-30%)

Se

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