一文帶你瞭解全球電子氣體主要生產企業

近年來，隨著電子工業的快速發展，電子氣體在半導體行業中的地位日益凸顯。電子氣體作為晶片製造的核心原材料，是市場價值除矽晶圓之外的最大材料，其重要性不言而喻。本文整理了電子氣體市場情況和國內外主要公司，希望對讀者有所幫助。

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市場格局

國外氣體企業在國際氣體市場中佔有寡頭地位。

電子特氣行業具有較高的進入壁壘，空氣化工、林德集團、液化空氣和大陽日酸等四大公司控制著全球90%以上的市場份額，呈現寡頭壟斷的格局。

在國內市場，海外四大氣體巨頭控制了我國電子特氣市場88%的份額

，國內氣體公司市場份額合計僅佔12%，國內企業佔比較低。電子氣體長期處於“卡脖子”狀態。

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國內外部分電子氣體公司

2.1 歐美公司

◆美國空氣化工產品

空氣化工產品（APD）在1940年成立於美國賓州，是全球第三大氣體供應商。銷售和服務空分氣體、特種氣體、氣體裝置等。

APD公司是世界大宗工業氣體巨頭，也是電子特種氣體行業的先驅。APD公司主要生產大宗工業氣體和稀有氣體。大宗工業氣體包含氧氣，氮氣和氬氣等氣體，也包含氫氣、氦氣、二氧化碳、一氧化碳和合成氣等工業氣體。2020年度營業收入為891。9億美元，淨利潤為17。6億美元。

◆林德集團

林德集團1879年成立於英國，2018年與氣體行業巨頭普萊克斯合併，成為全球最大的工業氣體供應商。林德集團氣體業務遍佈全球，也是最早進入中國的、佈局最多的氣體行業外資巨頭。

2020年全年公司銷售額為272億美元，營業利潤為58億美元，同比上漲10%林德集團成立聯華林德，主攻中國市場。聯華林德自1984年以來，一直引領著中國大陸和中國臺灣的氣體供應，並獲得了中國大陸和中國臺灣的大宗氣體市場份額第一、電子特種氣體市場份額第五的成績。

針對半導體，聯華林德能提供涵蓋所有制造工藝的電子特種氣體廣泛的產品組合和大宗氣體解決方案；面向平板顯示領域，聯華林德則有強大的N2O供應能力，還有專利的合成和純化技術；在太陽能領域，則有矽烷（SiH4）和氨氣（NH3）的全球供應網路；除了臺積電，中芯國際、長江儲存、長鑫科技以外，Intel大連、Samsung蘇州、京東方、華星光電都是林德集團服務過的客戶。

◆法國液空集團

法國液空集團1902年成立於法國巴黎，在林德集團與普萊克斯合併前是全球市值最大的氣體供應商。液化空氣集團氣體業務遍佈全球，主要為冶金、化工、能源等行業客戶供應氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、一氧化氮等產品，也為汽車、製造業、食品、醫藥、科技等行業客戶提供工業氣體、制氣裝置、安全裝臵等。

法國液空集團2020全年銷售額204。85億歐元（約244億美元）。其中，氣體與服務銷售額196。65億歐元。

2.2 日本公司

日本的特氣供給在行業內處於領先地位。當前在日本國內，半導體方面的高純度氣體市場規模約為40億元左右，在全球市場規模更大，約335億元。其“主戰場”為韓國、中國臺灣、中國大陸等東南亞地區。另一方面，供應高純度氣體的廠家依舊是日本企業佔大多數。如昭和電工、太陽日酸、關東電化工業、ADEKA（艾迪科）、日本中央銷子、住友精華、大金工業等都生產和銷售各種電子材料方面的氣體。

◆昭和電工

日本昭和電工成立於1939年，是全球知名的綜合性集團企業，生產的產品涉及多種領域，設有化學品事業部，專門從事產業氣體、電子材料用高純度氣體的研發、生產。

昭和電工株式會社在上海的生產基地-上海昭和電子化學材料有限公司的旁邊取得第二工廠建設用地，建設高純度N2O（一氧化二氮）和高純度C4F8（八氟環丁烷）的生產設施，以及高壓氣體危險品倉庫。第二工廠擬於2021年下半年投產。高純度N2O主要是半導體及顯示屏製造時的氧化膜的氧來源的特種氣體，高純度C4F8主要是這種氧化膜的微細加工（蝕刻）時的特種氣體。

◆太陽日酸

TaiyoNipponSanso（太陽日酸）大陽日酸株式會社創立於1910年，是日本最大工業氣體制造商，至今發展已經有近110年曆史，同時公司為領先的半導體氣體供應商，廣泛應用於IC（積體電路）和儲存器（半導體儲存裝置）、液晶、太陽能電池、LED和超精細機械結構。太陽日酸的電子特氣產品覆蓋了半導體制程中從沉積，清洗，蝕刻再到離子注入等不同環節，還兼顧了用於保護的惰性氣體品類。除了直接提供氣體產品，太陽日酸還為客戶提供一系列氣體裝置，供客戶現場製備氣體和儲存氣體而使用。

◆關東電化

日本關東電化工業公司歷史悠久，技術積累深厚。它成立於1938年，在電解領域，主要是在氫氟酸電解制備高純氟氣，和氟相關的技術方面有深厚的知識和技巧的積累。主要應用領域包括電池化學、醫藥化學和農業化學等。日本關東電化工業在半導體領域主要以氟化物氣體為主。從生產環節上來說覆蓋了半導體清洗，蝕刻和沉積環節。

◆艾迪科

艾迪科（ADEKA）是在歷史悠久的食品和化工綜合供應商。。

ADEKA在半導體電子特氣方面以三種刻蝕氣體為主。它們分別是高純氯氣、高純溴化氫和高純三氯化硼。這三種氣體在半導體材料的刻蝕流程上均有重要應用。

2.3 國內公司

我們透過對國內電子特氣公司進行梳理，

國內特氣公司實現國產替代呈現四個層級

：

1.透過產能優勢快速切入半導體刻蝕氣體，部分含氟氣體已經實現國產替代

，如三氟化氮、六氟化硫，代表企業有中航重工（718所）、昊華科技（黎明院）、雅克科技（科美特）、南大光電（飛源氣體）。

2.透過技術升級切入半導體化學沉積，部分國產替代初顯成效

，如六氟化鎢、四氟化碳，代表企業有中航重工（718所）、昊華科技（黎明院）、雅克科技（科美特）。

3.透過某種特氣進入核心供應商，切入多種半導體氣體

，代表企業有華特氣體、南大光電。

4.從空分氣體或者大化工進入半導體領域，具備技術及產能儲備

，代表企業有巨化股份（中巨芯）、三孚股份、金宏氣體、凱美特氣、和遠氣體。

◆中航重工（718所）

主要涉及氣體：刻蝕氣體，鎢沉積氣體

七一八研究所隸屬於世界500強中國船舶集團有限公司，創立於1966年，總部位於河北省邯鄲市，已形成電子特氣材料、精細化工、空氣淨化、氫能產業、核電裝備、節能環保、安防資訊工程及特種裝備等8大產業方向。

目前，中船重工第七一八研究所（派瑞特種氣體有限公司）生產的三氟化氮、六氟化鎢及三氟甲磺酸系列產品在國內佔有率第一，同時銷往國外二十多個國家和地區。

◆昊華科技

主要涉及氣體：刻蝕氣體，鎢沉積氣體

昊華化工科技集團股份有限公司（昊華科技）及其下屬研究所歷史悠久，積累深厚。

昊華科技旗下黎明院和光明院是承擔著主要電子特氣業務的子公司。其中光明院以氫化物氣體為主，比如硫化氫硒化氫；而黎明院以氟化氣體為主，比如三氟化氮，四氟化碳，六氟化硫和六氟化鎢。

公司子公司黎明院是最早從事六氟化硫研發的企業，亦是國內僅有的高純度六氟化硫研製企業。黎明院含氟氣體達到國內領先水平，主攻六氟化硫、三氟化氮。

光明院主要產品為各類特種氣體、工業氣體，並提供成套工藝設計、裝置加工、技術轉讓及氣體檢測等服務。

◆華特氣體

主要涉及氣體：光刻氣、刻蝕氣體、摻雜氣體等

廣東華特氣體股份有限公司創建於1999年，主營業務以特種氣體的研發、生產及銷售為核心，以普通工業氣體和相關氣體裝置與工程業務為輔。公司的特種氣體產品至今已有約230餘種，率先實現了包括高純四氟化碳、高純六氟乙烷、光刻氣、高純二氧化碳等近20種產品的進口替代，是中國特種氣體國產化的先行者。

◆雅克科技

主要涉及氣體：刻蝕氣體

雅克科技股份有限公司為深交所上市公司。2017年10月份，公司收購成都科美特特種氣體有限公司90%股權、江蘇先科半導體新材料有限公司84。825%股權。在電子特氣方面，雅克科技的“電子”事業部目前生產和銷售四氟化碳和六氟化硫，這兩種材料可以用於半導體的蝕刻和半導體制造裝置的清洗。雅克科技除了目前在售的三氟化碳和六氟化硫以外，還在規劃新增三氟化氮和高純氫氣的產能。

科美特產品已進入半導體特種氣體供應鏈。科美特現已具備年產六氟化硫8500噸和年產1200噸電子級四氟化碳的生產能力，年產3500噸半導體用電子級三氟化氮專案正在建設中，對高純含氟特氣的製備、提純與充裝等關鍵技術具備的獨到理解，科美特透過積極研發開拓高附加值的IC電子特氣產品，半導體級四氟化碳已實現量產銷售，六氟化硫達到電子級標準。

◆南大光電

主要涉及氣體：離子注入氣體，刻蝕氣體，鎢沉積氣體

江蘇南大光電材料股份有限公司是一家專業從事高純電子材料研發、生產和銷售的高新技術企業。南大光電立足LED氣體，衝擊積體電路特氣，南大光電的電子氣體在LED領域佔有主導地位。南大光電的主要產品MO源在國內外LED市場處於領先地位，是歐司朗、飛利普、科瑞等跨國公司的重要供應商。

◆金宏氣體

主要涉及氣體：刻蝕氣體，沉積氣體

蘇州金宏氣體股份有限公司成立於1999年，一家專業從事氣體研發、生產、銷售和服務的環保集約型綜合氣體供應商。已初步建立品類完備、佈局合理、配送可靠的氣體供應和服務網路，能夠為電子半導體、醫療健康、節能環保、新材料、新能源、高階裝備製造等行業客戶提供特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類100多個氣體品種。

◆巨化股份

主要涉及氣體：刻蝕氣體，沉積氣體

巨化股份是由基礎化工產業企業逐步轉型的中國氟化工行業領先的企業。巨化股份成立於1998年，經過20多年的發展，巨化股份已經形成了包括基礎配套原料、氟製冷劑、有機氟單體、含氟聚合物、含氟專用化學品等在內的完整的氟化工產業鏈，並涉足石油化工產業。

前期大手筆投入電子特氣，博瑞電子為實施主體，設立了子公司博瑞電子，專注於電子特氣的生產和銷售，並連續數年鉅額投資建設電子特氣技術和產能。

◆凱美特氣

主要涉及氣體：稀有氣體

凱美特氣是中國國內化工尾氣分離行業的龍頭。凱美特氣進軍電子氣體業務，建25套電子特種氣體專案生產裝臵，採用低溫吸附、深冷精餾分離、電解、催化合成技術。該專案產品為“高階、精細、專業”的電子特種氣體混配氣體及同位素，屬於電子化學品和核能範圍內的同位素，應用領域廣泛，主要用於生產環節隔離去氧化、做保護氣、半導體清潔氣體等。

◆三孚股份

主要涉及氣體：外延沉積氣體

三孚股份是一家資源綜合利用，產業迴圈發展的高科技化工企業。2017年6月滬市上市。三孚主要產品包括三氯氫矽、四氯化矽、光纖四氯化矽、氫氧化鉀、硫酸鉀、特種氣體等。

◆和遠氣體

主要涉及氣體：空分大宗氣體和高純氫氣、氧氣

致力於各類氣體產品的研發、生產、銷售、服務以及工業尾氣回收迴圈利用，公司經營的主要氣體可大致分為三類：普通氣體、特種氣體以及清潔能源。主要滿足化工、食品能源、照明、家電、鋼鐵、機械、農業等基礎行業和光伏、通訊、電子、醫療等新興產業對氣體和清潔能源的需求。

我國國內某些電子氣體發展很快，已經打入了下游客戶的供應鏈。比如：

華特氣體的高純氟代烷烴已經進入了英特爾、美光科技、德州儀器、海力士等國際客戶和中芯國際、華虹宏力、長江儲存、武漢新芯、華潤微電子、臺積電（中國）、和艦科技、士蘭微電子、柔宇科技、京東方等客戶的供應鏈，其光刻氣產品於2017年透過全球最大的光刻機供應商ASML公司的產品認證，是我國唯一，世界僅有的四家氣體公司之一；

金宏氣體是國內率先打破高純氨技術壟斷的公司，已經得到了聯芯、華潤微、京東方、三星電子等的認證，在國內的市場佔有率超過50%；

昊華科技的六氟化硫和三氟化氮、南大光電的磷烷和砷烷、北方特氣的乙硼烷、矽烷科技的矽烷、派瑞特氣的三氟化氮和六氟化鎢等等，都透過自主研發打破了國外的技術壟斷，並已經在一定程度上得到了客戶的認可。

外國氣體公司在華的壟斷局面已經鬆動，電子特氣市場將迎來越來越多的中國“芯”勢力。

內容來源：化工新材料

原標題：電子特氣迎來中國“芯”勢力！一文帶你瞭解全球電子氣體主要生產企業