掘金新三板之中科儀:憑什麼一年漲5倍?公司的真空幹泵產品獲國家重大專項立項支援,具有完全自主智慧財產權,可替代進口,目前已在中芯國際 、長江儲存、華力微電子、中微半導體、北方華創、瀋陽拓荊等積體電路晶片製造企業及裝備製造企業批次應用2022-06-28真空泵半導體真空幹泵裝置