3、計算出平均晶粒直徑平均晶粒直徑=試樣的實際長度/擷取部分的晶粒數實際長度=截線長度/放大率瞭解了晶粒大小（材料本身）對靶材效能的影響，我們再簡單說下工藝方面，結晶方向對靶材效能要求，由於在濺射時靶材原子容易沿著原子六方緊密排列方向優先濺

2022-03-15晶粒濺射靶材晶粒大小放大率