中國原子能院成功研製世界首臺航天器部件充電效應類比電子加速器
直線加速器研究室基於豐富的電子直線加速器經驗,自主完成了寬能量調節範圍加速結構設計、高穩定性發射強度電子槍設計、消色散270度偏轉磁鐵設計、均勻化聚焦六極磁鐵設計、大張角寬束流掃描系統設計等,其中偏轉和均勻化設計技術均為國際首創
天目Tech+ 晶片製造關鍵裝置再突破 一文看懂離子注入機
如今,中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機全譜系產品國產化訊息傳來,工藝段覆蓋至28nm,為我國晶片製造產業鏈補上重要一環,也為全球晶片製造企業在離子注入機領域提供了更多選擇
全球唯一一家全領域離子注入機提供商,簽訂億元級別12寸晶片裝置
2、後續持續供貨可期,助力國產替代程序凱世通多款12英寸晶圓積體電路裝置,包括低能大束流重金屬離子注入機、低能大束流超低溫離子注入機以及高能離子注入機的驗證及銷售,將會增強公司在積體電路裝備領域核心競爭力,同時進一步豐富擴大凱世通產品的覆蓋
晶片製造關鍵裝置又有重大突破,這一次是離子注入機!
根據新華社“新華視點”訊息,中國電子科技集團今日對外宣佈,該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司(簡稱“電科裝備”)攻克了系列“卡脖子”技術,已經成功實現離子注入機全譜系產品國產化,包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機