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晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

2023-01-09由 科技銘程 發表于 漁業

三氯矽烷和水反應生成什麼

晶片在我們生活中有多重要呢?小到無線耳機、智慧手機,大到汽車火車、飛機輪船,再到冰箱、電視、洗衣機等等都離不開晶片。

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

可以說,晶片已經是我們生活中不可或缺的電子元器件了。但是你能想想這麼一款精密器件,它

居然是由沙子製成的嗎?

第一步,矽提煉及提純

晶片是由單質矽製成的,但自然界中並沒有天然的單質矽,大都以矽的氧化物(二氧化矽、

SiO2

)形態存在,

二氧化矽恰好是沙子的主要成分。

晶片所使用的沙子並非我們日常在海灘、河道、建築工地等所見的那種,因為這種沙子含有紅色、黃色、橙色的雜質,提純難度更大。

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

晶片使用的沙子叫矽砂,這種沙子幾乎沒有其他的雜質,就是純淨的二氧化矽。那麼如何把二氧化矽變成單質矽呢?

工業上經常用碳在高溫下還原二氧化矽,然後製得含有少量雜質的粗貴。

化學式:SiO2+2C==高溫==Si+2CO↑

我們將二氧化矽和碳充分混合,然後放入電弧爐中,加熱到2000℃以上,在高溫下,碳會與二氧化矽發生反應,爐膛底部會留下單質矽,而CO變為氣體排出。

之後再用氧氣對矽進行處理,把鈣、鋁等雜質去除,得到純度為99%的單質矽。這個純度遠達不到製造晶片的標準。

為了進一步提純單質矽,我們需要將其研磨成粉狀,然後加入氯化氫,放入流化床反應器中,加熱到300℃讓其充分反應,生成三氯矽烷,同時去除鐵、硼、磷等雜質。

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

三氯矽烷繼續加熱到1000℃,然後與氫氣反應,最終形成

純度為99.999999%的單質矽

,這個級別的矽就可以用來製造晶片了。

但此時的單質矽只能算多晶矽,由

數量眾多的小晶體或者微晶構成

,這些小晶體之間的連線處有晶界,晶界會導致電子訊號混亂,因此必須更改矽的結構,

使其變成單晶矽。

第二步單晶矽生長

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

多晶矽變單晶矽的過程叫做

直拉單晶技術,又稱長晶

它的工藝流程為:

熔化一→縮頸生長一→放肩生長一→等徑生長一→尾部生長。

熔化:簡單來說就是將多晶矽加入石英鍋內,加熱到熔點以上(1420℃),整個工程不能接觸空氣,因此長晶爐一般都是抽成真空,然後加入氬氣。

縮頸生長:將微小的晶粒放入熔化的矽熔體中,因為溫度差導致接觸面產生熱應力,形成位錯,此時快速提升,使長出的籽晶直徑減小到46mm左右。

而放肩生長就是將晶體的直徑放大至所需的尺寸,該過程需要注意降溫、減小拉速。

等徑生產,就是保持晶體直徑不變,持續拉長的過程。

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

尾部生長與放肩生長過程相反,當直徑縮小至一個點時,晶棒就會與矽熔體分離。整個長晶過程結束。

多晶矽也就變成了單晶矽棒,也就是我們常說的矽錠。

目前矽錠的直徑大都為150mm、300mm、450mm三種,用於製造8英寸、12英寸的晶圓。

第三步製成晶圓

矽晶棒是無法直接進行刻蝕的,它需要經過

切斷、滾磨、切片、倒角、拋光、鐳射刻

等程式後,才能成為晶片製造的基本材料——

“晶圓”

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

晶圓的切片方法有傳統的

機械切割(劃片)和鐳射切割(切片)

機械切割是直接將鑽石鋸片作用在晶圓表面,產生應力,使其分割。切割寬度一般為

25-35μm之間,速度為8-10mm/s,切割慢,不同規格需要不同的刀具。

此外,機械切割容易造成晶圓崩邊、破損等現象。

旋轉砂輪式切割雖然可以降低晶圓破損,但需要去離子水冷卻,又導致成本較高。於是發明了

新型鐳射切割。

鐳射切割不會產生機械應力,大大地保證了晶圓的質量。

此外鐳射的精確度更高,可以達到亞微米級別,非常適合精密加工,在強大的脈衝能量下,矽材料直接汽化產生均勻的溝道,實現切割。

鐳射切割速度更快,且不需要冷卻水,更不會出現磨損刀具的問題,可以24小時不間斷作業。

鐳射對晶圓有更好的相容性和通用性。

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

切割後的晶圓再透過氧化、化學氣相沉積等方法進行鍍膜,使表面形成一層

SiO2薄膜,並在SiO2薄膜中進行N型、P型摻雜。

是不是很多網友認為晶圓就像一張DVD光碟,其實並非如此,

晶圓不是標準的圓形,

一般都會切出一個邊,當作類似三角形的“底”,成為

“有底的圓”。

晶片製造

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

晶片製造是最複雜的工藝,僅僅簡單地走一遍流程就需要20多道,而真正的要製造一款手機晶片,需要幾百道,甚至是幾千道工序。

這裡只講一講主要的工序。

晶片製造的主要流程為:

清洗、預烘、塗膠、前烘、對準、曝光、顯影、豎膜、刻蝕、去膠。

1、清洗

清洗的目的就是去除金屬離子,確保晶圓無汙染、無針孔、無缺陷。具體步驟如下:

1、使用強氧化劑清洗液,使晶圓表面的金屬離子溶解在清洗液中;

2、用H+去除殘留在晶圓表面的金屬離子;

3、用去離子水清洗晶圓,徹底排除清洗液。

2、預烘

晶圓清洗完畢後,要進行烘乾,確保無殘留的清洗液,更有利於底膠的塗覆,並把晶圓溫度保持在80℃左右。

3、塗底膠

為了增強光刻膠與晶圓的粘附性,需要塗一層底膠,底膠塗覆的時候需要環境溫度保持在100℃左右。

4、光刻膠塗覆

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

光刻膠是

感光樹脂、

增感劑

和溶劑組成的混合液體,

被紫外光、電子束、

X射線

照射後,溶解度會發生變化。

方法:晶圓在1000℃的高溫中進行氧化,然後用塗膠機將光刻膠均勻地塗在晶圓表面。

5、前烘

前烘的目的是將光刻膠的溶劑蒸發掉,使光刻膠均勻地粘附在晶圓表面,而且烘乾後的光刻膠塗層更薄。

6、對準

對準操作時,對精度要求極高,這絕對是對技術和裝置的重大考驗。

要求對準精度為最細的線寬1/10左右,同時精度隨著晶片的製程變化。例如:5nm工藝的晶片對準精度就達到了1nm。

7、曝光

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

曝光就類似於照相機按快門,當紫外光對塗有光刻膠的晶圓照射時,光刻膠就發生了化學反應。

正膠曝光部分在顯影液中被溶解,沒有曝光的膠層留下;負膠的曝光部分在顯影液中不溶解,而沒有曝光的膠層卻被溶解掉。

8、顯影

被曝光後的晶圓放入顯影液中,感光區的光刻膠就會溶解,這一步完成後,晶圓上的電路圖就顯現出來了。

9、豎模

顯影工序後,形成了無光刻膠的顯性圖形和有光刻膠的隱性圖形,這個圖形組合可以作為下一步的模版。

10、刻蝕

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

刻蝕可以選擇性地移除晶圓上的特定部分,並

對邊緣輪廓修整或表面清潔等。刻蝕工藝主要有兩大類:溼法刻蝕和幹法刻蝕。

刻蝕對於器件的電學效能十分重要。如果刻蝕過程中出現失誤,將造成難以恢復的矽片報廢。

11、去膠

以上工藝全部結束後,要把光刻膠去除,採用等離子、特殊溶劑、等方法。

這僅僅是一次操作,實際上製造晶片時,

需要不斷地重複以上操作

。每加入一個層級就要進行一次光刻,最終形成一個多層的立體結構型的晶片。

為了防止晶片的刮損,同時更方面的與其它元器件連線,還要對晶片進行封裝。

最後封裝

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

手機晶片製造完成後,只有指甲蓋大小,並且非常薄,稍有不慎就會刮傷損壞,導致前面做的一系列工作化為烏有。

而晶片封裝就是給晶片安裝一個外殼,可以有效地固定、保護、密封、連線晶片。

晶片封裝後的金屬接腳簡直就是與外界溝通的橋樑,這些橋樑將晶片與電路板有效的連線起來,讓晶片更安全、高效的發揮作用。

封裝流程主要有:

劃片、裝片、鍵合、塑封、去飛邊、電鍍、列印、切筋成型。

常見的封裝方式有兩種:

DIP 封裝、 BGA 封裝

DIP 封裝:

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

DIP封裝即雙排直立式封裝,採用此封裝的 IC 晶片在雙排腳下,看起來會像條黑色蜈蚣,讓人印象深刻,此封裝法為最早採用的 IC 封裝技術。

優點:成本低廉、適合小型且不需要接太多線的晶片。

缺點:散熱效果較差,無法滿足現行高速晶片的要求。

BGA 封裝:

以金線將晶片接到金屬接腳,

優點:體積小、容納更多的接腳;

缺點:工藝複雜、成本較高。

封裝完成後,再進行功能、電氣、安全、環境、機械等方面的測試,就大功告成了。

寫到最後

晶片的原材料居然是沙子,那麼沙子是如何變成晶片的呢?

沙子變為高階晶片是一個極其複雜而精密的過程,目前沒有任何一個國家可以單獨完成這項任務。

這項過程不僅需要大量的專業技術,也需要很多精密的裝置,和效能不同的化學試劑。這對每個國家都是考驗。

我國在該領域起步晚,底子薄,但發展速度非常快,相信假以時日,在科研人員的努力下定能獨立打造出高階晶片。

我是科技銘程,歡迎共同討論!