十級淨化車間潔淨室建設引數、標準及方案

目前比較常見的淨化車間，按照潔淨等級從低到高可劃分為：三十萬級、十萬級、萬級、千級、百級。十級淨化車間通常用於對環境要求較高、工業流程複雜的高科技行業，以及對人民群眾的生命健康造成威脅的醫療衛生行業。

近年來，科學技術的發展很快，高科技的產品不斷出現，尤其是電子工業的發展更是日新月異，像積體電路的發展兩三年就更新一代。常見的十級淨化車間主要應用於高科技電子產品的生產，隨著技術不斷升級，以後十級淨化車間會越來越常見。

十級淨化車間有三層意義：一種是空態十級，一種是靜態十級，還有一種是動態十級。空態十級指車間內沒有裝置沒有人員流動；靜態是指車間內有裝置但沒有執行，沒有人員移動的情況；動態則指車間內部各個工序各種裝置都在有序執行時的潔淨度。標準的十級淨化車間，一般指靜態時的引數。

潔淨度和控制汙染的持續穩定性，時檢驗淨化車間質量的核心標準，該標準根據區域環境、潔淨程度等因素，分為若干等級，常用標準如下圖。

十級潔淨車間淨化原理

氣流

→初效淨化→加溼段→加熱段→表冷段→中效淨化→風機送風→管道→高效淨化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 →迴風百葉窗→初效淨化。反覆重複以上過程，即可達到潔淨目的。

常規引數

壓差：主車間對相鄰房間

≥5Pa。平均風速：10級、100級在0。3-0。5m/s。溫度冬季>16℃；夏季 <26℃；波動±2℃。溼度45-65%；潔淨工程GMP粉劑車間溼度在50%左右為宜；電子車間溼度略高以免產生靜電。噪聲≤65dB（A）。新風補充量是總送風量的10%-30%。照度300LX。

一般造價

十級淨化車間的建造費用很高，一般來說，潔淨等級高於 100 級（FS 209）單向流的淨化車間，其室內裝修（牆、頂、地、門、窗等）和空調淨化系統（包括製冷空調裝置和管道配件、淨化裝置和配件等）的初投資基本會大於 10000 元 /m2。

如果加上純水製備裝置和系統管道，純氣發生和系統管道，廢水治理裝置和管道，消防系統，供配電和自控系統，真空清掃系統等等，其單位面積的建造投資費用高達

25000~30000 元 /m2。

如此高的建造費用，也未必保證淨化車間的百分百合格，在龐大的潔淨室系統和潔淨環境的設計和施工過程中，潛在的問題多，未能受控的汙染源，譬如少量的微粒、輕微的氣流擾動、微小的震動都會導致整個潔淨室的環境失控。

潔淨室需經過空態、靜態和動態的驗收，任何一個環節都可能存在風險，同時，在工廠正式運作後，潔淨室出現問題的可能也很大。

因此，潔淨室工程行業企業面臨巨大的技術風險，以及後續潔淨室執行、維護和除錯、檢測的壓力。

設計核心

十級淨化核減工程主要包括設計、施工和執行管理前後相關的三個環節。高標準淨化車間的建設，質量源於設計，設計是核心。

淨化車間工程

包括圍護結構（俗稱

“房中房”）；空調淨化系統；供電、自控、弱電系統；純水、特氣、物料供應系統；廢氣、廢水處理系統及相關設施。

執行管理包括：實時檢測，人員培訓，裝置維護，以保證受控的生產科研環境持續符合要求。

三個環節涵蓋了空態控的生產科研環境持續符合要求。

三個環節涵蓋了空態、靜態、動態三個佔有狀態；環境受控又融合了風險評估、生產認證的概念和程式；加之潔淨技術跨行業、跨專業、跨學科的特點：使之淨化車間工程的難度和複雜性增加。

因此對於淨化車間工程行業來說，最佳化設計、現場施工環境的協調與管控、工程相關技術細節的經驗積累，對客戶需求的理解和實現，以及對設計變更的準備和響應程度等都是衡量淨化車間施工團隊能力的重要指標。

行業思考

據不完全統計，淨化車間

的能耗是一般寫字樓的

10~30倍。我國的8英寸晶片廠，淨化車間

單位面積能耗比美國同類型工廠高

15%（美國耗能 1。28 kW/m2~ 1。 6 3kW/m2，而中國耗能 1。48 kW/m2~1。93 kW/m2）。

因此，淨化車間下游相關行業企業越來越重視潔淨室的節能問題。這就要求淨化車間工程行業企業，從客戶需求出發，從設計理念、建造施工、裝置配備及執行等各個方面進行節能設計，只有採取全方位的節能技術，整個淨化車間行業才能持續、良性發展。

對於淨化車間工程行業來說，十級淨化車間會因為生產工藝流程的改變引起的氣流組織、裝置容量等方面的變化而導致設計的改變，而這種變更需要在前期設計時預留好變更的空間，否則將會為後期的改變埋下隱患。