鐳射干涉儀測量機床精度之線性測量

數控機床因為高精度、高效率、多功能等優點，廣泛應用於各行業中。為了保證機床的加工精度，需要用到鐳射干涉儀對它們做定期精度檢查，這樣才能保證加工產品的質量。線性測量是鐳射干涉儀用來檢定機床定位精度的一種常見測量。

線性測量構建

進行線性測量需使用到“線性干涉鏡”（由分光鏡和角錐反射鏡A組 成）和“線性反射鏡”（角錐反射鏡B）。鐳射從SJ6000主機（鐳射頭）出射，透過分光 鏡後將分成兩束鐳射，一束鐳射為透過角錐反射鏡A的參考光，另一束鐳射為透過角錐反 射鏡B的測量光，透過移動“線性反射鏡”可實現運動軸的線性測量。

線性測量原理構建圖

水平軸的線性測量示意圖

垂直軸的線性測量示意圖

SJ6000鐳射干涉儀採用鐳射雙縱模熱穩頻技術，可以輸出高精度、抗擾力強、高穩定性的鐳射頻率。其線性測量可滿足（080）m範圍內的精密測量，主要應用於測量直線導軌的定位精度、重複 定位精度和反向間隙等。

數控機床的線性測量

數控機床傾斜軸的線性測量

線性測量步驟：

1、設定鐳射器系統以執行線性測量；

2、使鐳射束與機床的運動軸準直；

3、啟動自動環境補償功能，確保在軟體中輸入正確的材料膨脹係數；

4、測量和記錄機床的線性誤差；

5、分析資料。

注意事項

1、線性測量過程尤其是在測量與鐳射頭成直角的水平軸和垂直軸、斜軸的時候，光路調節困難，這時候就需要巧妙安裝反射鏡和折射鏡。

2、使用光靶能簡單準直鐳射束

3、在開始測量時，或者在返程測量時鐳射干涉儀不踩點，可能原因有：

（1）光強太弱；

（2）當返回測量時，鐳射干涉儀不採集資料。這時候要分析“越程”量設定是否正確，或是機床在程式執行中有沒有考慮“越程”。

4、線性反射鏡箭頭方向就是鐳射進行方向，一定要正確組合線性反射鏡組。

5、反射鏡組的一條邊稜與永磁體座儘量平行或垂直，這將為後面進行找正光源做好基礎。

6、鐳射頭預熱時間會根據氣溫的變化而變化，所以在測量資料前要保證在鐳射波長穩定後進行。

7、測試工作完成後，應先將鐳射頭電源關掉，關閉電腦。