實驗室手動探針臺應用

實驗室手動探針臺應用

手動探針臺用途

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探針臺主要應用於半導體行業、光電行業、積體電路以及封裝的測試。 廣泛應用於複雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，並縮減研發時間和器件製造工藝的成本。

半導體實驗室

手動探針臺的主要用途是為半導體晶片的電引數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格晶片，並提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成積體電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等引數檢測。適用於對晶片進行科研分析，抽查測試等用途。

手動探針臺

手動探針臺應用領域：

Failure analysis 積體電路失效分析

Wafer leve reliability晶元可靠性認證

Device characterization 元器件特性量測

Process modeling塑性過程測試（材料特性分析）

IC Process monitoring 製成監控

Package part probing IC封裝階段打線品質測試

Flat paneprobing 液晶面板的特性測試

PC board probing PC主機板的電性測試

ESD&TDR testing ESD和TDR測試

Microwave probing 微波量測（高頻）

Solar太陽能領域檢測分析

LED、OLED、LCD領域檢測分析

探針臺操作

手動探針臺的使用方式

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1。將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。

2。使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3。使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。

4。顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰，帶測點在顯微鏡視場中心。

5。待測點位置確認好後，再調節探針座的位置，將探針裝上後可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊，再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕，慢慢將探針移至被測點，此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷晶片，當探針針尖懸空於被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退後少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，zui後則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。

6。確保針尖和被測點接觸良好後，則可以透過連線的測試裝置開始測試。常見故障的排除

當您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。