掘金新三板之中科儀：憑什麼一年漲5倍？

從2019年初到2020年初，中科儀（OC：830852）從3元起步，一口氣漲到了15元，中間最高19元，大漲5倍！

中科儀（OC：830852）為什麼這麼牛？以後上漲的空間還有多大？

中科儀（OC：830852）之所以短期漲幅巨大，一方面是新三板改革的制度紅利，有上精選層或科創板的預期，從而估值大幅提升；另一方面，是趕上了國內半導體產業的風口。

中國科學院瀋陽科學儀器股份有限公司 （以下簡稱公司） 是一家集真空儀器裝置研發、生產、銷售、服務為一體的高科技企業，其前身是中國科學院瀋陽科學儀器研製中心，創建於1958年，公司位於瀋陽市渾南新區 （國家高新技術產業開發區） 內，佔地面積110畝、建築面積3。5萬平方米，總資產3。5億元人民幣。公司現有員工382人，其中具有本科以上學歷的科技人員佔員工總數的60%。公司始終堅持以人為本，追求技術領先。經過半個世紀的發展，造就了創新合作的學習型團隊，構建了高起點、高標準的技術平臺。

實控人是中科院，實力強大。

公司以高真空、超高真空、潔淨真空技術為基礎，主要研發生產各類薄膜材料製備裝置、奈米材料製備裝置、真空冶金裝置、單晶爐、太陽能光伏裝置、積體電路裝備、大科學工程裝備、無油真空獲得及系統整合。多年來，公司依靠自身的技術和人才優勢，創造了多項國內第一，多次打破發達國家技術封鎖。公司參加了北京正負電子對撞機、合肥同步輻射、蘭州重離子加速器、上海第三代光源、“921”工程等國家重大科學工程的建設，為其提供了先進的技術和成套裝置。曾先後獲得國家科技進步獎十餘項，中國科學院及省部級科技進步獎五十餘項，國家級新產品三十餘項，擁有專利100餘項，是遼寧省、瀋陽市的高新技術企業，連續多年獲得AAA級資信等級證書。

公司生產的真空裝置產品廣泛應用於科研院所、航空航天、軍工、積體電路（IC）、半導體照明（LED）、太陽能光伏（PV）、平板顯示（FPD）、石油化工、製藥等領域。同時，作為國家真空儀器裝置工程技術研究中心、真空技術裝備國家工程實驗室的依託單位，公司投入大量研發經費，進行新產品研發、製造、銷售。尤其在科研高階真空裝備方面佔據國內領先地位，為國內科研院所、大專院校及國家重點實驗室、國家實驗室研製了大量高階真空儀器裝備。

因此，中科儀的概念很多：5G、半導體、積體電路、晶片、軍工、新能源。。。

2019年10月，國家大基金與中科儀簽署協議，戰略投資中科儀真空幹泵產業化升級，投資金額為1。4億。

募集資金主要用於真空幹泵。

可見，中科儀的技術實力獲得了國家的認同。

公司全資子公司上凱儀公司在湖北成立了武漢上凱儀真空技術有限公司。目前，公司真空幹泵已經在中芯國際、上海華力、長江儲存、北方華創、晶盛機電、天科合達（OC：870013）

等國內積體電路晶片製造、裝備製造企業實現批次應用，打破了國外企業對同類產品的長期壟斷的局面，為今後進一步在積體電路領域市場拓展奠定了堅實的基礎。

2018年，真空幹泵收入佔比45%，真空科研裝置佔比37%。

2019 年上半年營業收入同比增長 29。01%，增加的主要原因是公司真空幹泵產品提升了產量規模，逐步打開了國內市場，使幹泵銷售收入大幅提升。

公司根據市場前景和公司戰略，抓住國內積體電路和相關產業發展的機遇，提升真空幹泵

產品質量和效能，增加市場佔有率，實現大規模銷售，真空幹泵產品的銷售對公司未來經營業績實現增長有著非常重要的推進作用。

因此，真空幹泵是目前公司的核心收入來源，正在大規模擴充產能，決定著公司未來幾年的發展前景。

下面就詳細看下真空幹泵行業狀況和市場競爭。

真空泵是根據一定的工作原理，用來產生、改善和維持真空環境的裝臵，廣泛用於塑膠機械、農藥化工、染料化工、磚瓦機械、低溫裝置、造紙機械、醫藥化工、食品機械、工業電爐、電子行業、真空裝置、化肥、冶金、石油、礦山、地基處理等領域。

為了滿足工業生產對真空環境越來越嚴格的要求，乾式真空泵應運而生。近年來大量的有油真空系統已被無油清潔的真空系統所代替。螺桿真空泵屬於非接觸型乾式泵，具有抽速範圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油汙染等優點，市場需求量較大。

國外乾式機械真空泵市場 不斷增長 。主要驅動來自於半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。日本半導體行業已全部用乾式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業 45%以上用乾式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的效能和質量。

我國乾式真空泵的生產處於剛剛起步階段 ，進口替代和市場開拓空間較大 。目前國內生產的幹泵絕大多數用於實驗室及化學、醫藥等領域，而國內半導體工業用的幹泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。

從技術上發展路徑上看，乾式真空泵主要分為多級魯氏真空泵（羅茨真空泵）、爪式真空泵和螺桿式真空泵、渦旋真空泵。

Edwards、Kashiyama 及 Ebara 各自基於自身的技術積累，研發緊貼客戶需求的乾式真空泵。Edwards 作為半導體真空泵最老牌生產商，其產品主要的技術路徑是爪式真空泵技術，但近年來也開始發展多級魯氏及螺桿式；Kashiyama 則以螺桿式真空泵為主，多級魯氏泵為輔；Ebara 則以多級魯氏為主，在螺桿式真空泵產品上亦有較多積累。

相對來說螺桿式真空泵技術是三家都覆蓋的技術路徑，我國生產乾式真空泵廠商主要有漢鍾精機和中科儀（原先的沈科儀）。

國外的真空泵巨頭公司都生產不同型別的乾式真空泵。螺桿真空泵屬於非接觸型乾式泵，

是 20 世紀 90 年代初期出現的一種理想的泵種，以抽速範圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔

元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油汙染等優點佔據市場。介於其優越的效能，在歐美

日國家已經成為微電子、半導體、製藥、精密加工等行業首選真空獲得裝置。螺桿式真空泵是未來乾式真空泵的主導技術，目前漢鍾精機的產品技術路徑主要是螺桿式的真空泵。

按照終端使用者分類，終端使用者主要使用者分為：能源與動力、油氣、化學、半導體。

以全球半導體乾式真空泵而言，Edwards 市佔率排名第一，約佔 50%的市場份額，其次為

Kashiyama 和 Ebara。國內自主品牌佔有市場份額較低。

中科儀自 2001 年以來，在科技部 863、“十一五”國家重大科技專項、科學儀器專項等重大專案支援下，針對羅茨泵、螺桿泵、爪式泵、渦旋泵等乾式系列真空泵進行研發。

2018 年 4 月，中科儀中標長江儲存首批採購 174 臺幹泵產品，是沈科儀真空幹泵得到晶圓廠客戶認可的重要標記。

半導體乾式真空泵屬於半導體裝置行業。

半導體裝置上游為原材料供應商，相應原材料多為標準件，因此上游較為分散。半導體裝置廠透過採購原材料後組裝製造半導體裝置供給下游。

半導體裝置下游客戶以及需求主要包括半導體制造、顯示面板製造與光伏製造。半導體制造中，主要為晶圓製造廠商、晶圓代工廠商以及封裝測試廠商等。

以積體電路和分立器件為例（光伏、面板與LED的製造流程類似但稍有些差異）， 半導體的製造工藝流程包括晶圓製造、晶圓加工和封裝測試三個部分。 半導體的製造工藝流程包括晶圓製造、晶圓加工和封裝測試三個部分。

晶圓製造：將半導體材料開採並根據半導體標準進行提純後，透過一系列化學反應和表面處理，形成帶有特殊粒子和結構引數的晶體，經過一系列處理後製成晶圓薄片（主要是矽晶圓），過程中主要運用單晶爐、CMP、清洗機等裝置。

晶圓加工：製成晶圓後，在表面上形成器件或積體電路，其中，前端工藝線（FEOL）是電晶體和其他器件在晶圓表面上的形成，後端工藝線（BEOL）是以金屬線把器件連在一起並加一層最終保護層。加工過程中主要運用光刻機、刻蝕機、薄膜沉積裝置、離子注入機、清洗機等裝置。

封裝測試：晶圓上的晶片需要經過多道工序才能分隔開，並要進行針對性的測試和封裝，得到應用於不同電子單元、不同下游領域的成品晶片，過程中主要運用各類測試和封裝裝置。

不同過程所需投資額以及相應半導體裝置不同。根據Gartner和SEMI等機構的統計，按工程投資分類潔淨室投資佔比約為20-30%左右，其餘的70%主要為半導體相關裝置採購。 其中晶圓加工環節（即賦予晶圓相應的電學特性）所需裝置投資價值佔比最高，約佔 值佔比最高，約佔80%左右。 左右。封裝測試環節和晶圓製造環節受先進製程工藝影響較小，對於裝置精度需求相對較低，因此所需裝置投資價值量佔比較低，分別為20%和0。5%。

晶圓加工環節裝置又可進一步分為刻蝕裝置、光刻裝置、薄膜沉積裝置、

化學機械拋光裝置、檢測裝置和其他沉積裝置等。根據SEMI的統計，其中刻蝕裝置

投資佔比第一，2017年佔晶圓加工環節裝置銷售額的24%。

國內十大半導體裝置公司：

排名 公司名稱 營業收入（億元）

1 屹唐半導體 16。6

2 北方華創 7

3 中微半導體 5。7

4 盛美半導體 4。9

5 至純科技 4。4

6 中電裝備 3。2

7 長川科技 2。2

8 芯源微 2。1

9 瀋陽拓荊 1

10 華海清科 0。7

一些重點上市企業有：

長川科技：公司是半導體測試裝置領域龍頭，公司主打測試機+分選機。國內半導體產業處於加速發展階段，晶圓廠建設大幅提速，封測國產化程序加快，資本開支規模放大，公司的裝置國產替代空間大。同時，下游晶片應用市場新產品新應用推陳出新，封測技術與時俱進，產品保持現有技術優勢和盈利水平，推出更具技術含量和價效比的測試機/分選機，實現更大規模的國產替代。公司未來將滲透更多的測試類相關產品，包括晶圓檢測用探針臺，封裝用倒裝機、預封裝切割機等新裝置，發展空間廣闊。

江豐電子：是國內高純靶材龍頭，主要從事高純濺射靶材的研發、生產和銷售業務，主要產品為鋁靶、鈦靶、鉭靶、鎢鈦靶等高純濺射靶材，產品應用於半導體、平板顯示、太陽能等領域。公司打破海外壟斷，填補國內電子材料行業空白，成功在 28nm 及更低製程領域應用。隨著國內半導體和麵板產業的快速發展，公司將深度受益。

北方華創：國內目前產品品類覆蓋最廣的半導體裝置“平臺型”企業。北方華創擁有半導

體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件四個事業群，為半導體、新能源、新材

料等領域提供全方位解決方案。公司現擁有四大產業製造基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、

亞等主要國家或地區。北方華建立立了豐富而有競爭力的產品體系，半導體裝備包括刻蝕

機、PVD、CVD、氧化/擴散爐、清洗機及氣體質量流量控制器等品類。據公司 2018 年報，

半導體裝置在積體電路領域形成了 28 奈米裝置供貨能力，14 奈米工藝裝置處於客戶工藝

驗證階段。

晶盛機電：國內領先的 晶體生長、加工裝備研發製造和藍寶石材料生產的高新技術企業。

公司主營產品為全自動單晶爐、多晶鑄錠爐等，應用於太陽能光伏、積體電路、LED 等新

興產業。公司較早掌握了國內領先的半導體矽材料生長的裝備技術，在半導體領域實現了

8~12 英寸大矽片製造用晶體生長及加工的核心裝備國產化。公司產品覆蓋晶體生長、切

磨拋和監測等各個環節，已逐步從單一的裝置製造商轉型成了立足於“新材料、新裝備”

的國際領先的裝置供應商和高階晶體材料生產商。

乾式真空泵是半導體晶圓廠的必購裝置，應用於長晶腔體以及傳送晶圓部分的真空環節

製造，其它半導體領域如先封裝、矽晶棒拉晶環節亦會用到乾式真空泵。按對真空泵工

作環境的嚴苛度劃分，乾式泵主要見於以下流程：

A、潔淨工藝流程：此種流程中真空泵工作環境的粉塵含量較低，主要用於製備單晶矽的

拉晶環節，製備真空以降低矽料熔融溫度；晶片封裝環節；鋰電池封裝前乾燥；半導體

晶圓製備系統中傳送晶圓環節。

B、一般工藝流程：此流程中真空泵工作環境的粉塵含量較高，主要用於晶圓製備中氧化

擴散、刻蝕、離子植入擴散、光阻去除等環節；

C、嚴苛工藝流程：此流程中真空泵工作環境的粉塵含量非常高，主要用於 CVD/PVD 工

藝環節；

真空系統直接關係到 晶片的 效能 、 良 率 。半導體器件包含著許多層材料，如果不同材料層之間混入氣體分子，就會破壞器件的電學或光學效能。比如，當希望在晶體層上再生長一層晶體時（稱為外延），底層晶體表面吸附的氣體分子，會阻礙上面的原子按照晶格結構進行有序排列，結果在外延層中引入大量缺陷，嚴重時，甚至長不出晶體，而只能得到原子排列雜亂無章的多晶或非晶體；另外，在半導體器件的加工過程中，需要用電子束、離子束和分子束等粒子對材料進行照射和轟擊，而在大氣中，氣體分子會和這些粒子發生碰撞，結果導致絕大多數粒子到達不了材料表面，因此真空系統的選擇直接關係到晶片的效能和良率。

半導體用真空泵對產品可靠性、定製化、能源效率要求較高。可靠性：半導體用真空泵直接關係到晶片的效能、良率，對產品可靠性有較高要求，工作過程需要不斷保養，可靠性高的產品能減少維修次數，降低客戶使用成本； 定製化：在半導體制造領域，由於每條生產線工況都不相同，客戶對解決方案和產品的需求更加定製化； 能源效率：在 Fab 能源消耗中，真空產品佔整個能源消耗的20%，提高能源效率能夠減少客戶的能源消耗。

各種各樣的真空泵和減排系統用在半導體制備的各個環節。乾式真空泵用於營造乾淨的工況環境。渦輪真空泵用於對氣壓要求較低的刻蝕和布植環節。減排系統用於吸收乾式真空泵排放的廢氣。一般來說每月生產 40，000 片初制晶元需要 1，500 單位真空工具和減排裝置以及 2，000 個泵體。

真空裝置吸收顆粒物創造清潔環境對於半導體產品的精密程度和整合程度有著至關重要的作用。真空裝置佔整個 fab 投資的 3%~5%，但是在能源消耗中佔比 20%以上。

乾式機械真空泵市場的不斷增長，主要來自於半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用乾式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業 45%以上用乾式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的效能和質量。

從產能對應而言，以 12 寸晶圓片生產為例，每月 3。5 萬片產能需要乾式真空泵約為 1000

臺。目前我國擴建的晶圓產能以 12 寸生產線為主，在建產能達 110 萬片/月，在執行產能

達 50 萬片/月。

此外，目前我國 8 寸片生產產能達到 90 萬片/月，在建產能 14 萬片/月。12 寸片新建產能配套新增需求及 8 寸片產能的配套存量替換，為我國大陸乾式真空泵帶來廣闊的市場空

間。以中國大陸半導體裝置採購量佔全球約為 20%的市場份額估算，全球乾式真空泵市場空間約為 150 億左右。

中國大陸真空泵市場規模 2019-21 年達 36/65/80 億元 億元： ：根據 IC Insights 統計，2018 年中國大陸/中國臺灣晶圓在運產能摺合 8 寸約 236。1/412。6 萬片/月（摺合 12 寸約 104。9/183。4 萬片/月），2019 年新增產能摺合 8 寸約 39。09 萬片/月（摺合 12 寸約 17。4 萬片/月），據統計當前在建 FAB 廠產能合計摺合 12 寸約 92。6 萬片/月，按 20/21 年分別投產 42。6/50 萬片/月測算，中國大陸真空泵市場規模 2019-21 年分別為 36/65/80 億元，年均增速近 50%。

乾式真空泵的生產需要深厚的機械精密加工技術，同時需要對真空泵的轉子材料效能有

足夠的研發積累。目前國產幹泵的市場佔有率還不足 5%，而國內半導體工業用的幹泵國

產化率更低，幾乎全部從國外進口。

針對半導體用乾式真空泵，佔據主要市場份額的廠商包括 Edwards、Leybold（萊寶）、Kashiyama（樫山工業）、Ebara（荏原製作所）。三家廠商均在流體機械領域有深厚積累，

公司歷史長達百年左右。

愛德華（Edwards，AtlasCopco）

ATLAS COPCO AB（PINK：ATLKY） 是一家位於瑞典的控股公司，成立於 1873年，提供生產力解決方案。公司提供壓縮技術，空氣和氣體處理裝置，空氣管理系統和真空解決方案。其產品包括一系列無油渦旋壓縮機，注油旋轉螺桿壓縮機，無油鼓風機，無油離心壓縮機，氣體和工藝壓縮機，真空解決方案，空氣和氣體處理裝置和醫用空氣解決方案，空氣管道系統和逆變器。公司部門包括壓縮機技術，工業技術，採礦和岩石挖掘技術和建築技術。2014 年 Atlas以約 16 億美元收購 Edwards。Edwards 創辦於 1919 年，

總部位於英國克勞利（Crawley），是一家全球性工業技術公司，生真空品和減排系統，是世界最大的真空泵製造商之一，2012 年 5 月在納斯達克上市。

樫山工業株式會社（Kashiyama）

KASHIYAMA 工業株式會社創立於 1946 年，多年來致力於真空技術的研究，在半導體制造領域和高科技行業中擁有極高的信譽。尤其在半導體制造領域，獲得了客戶的高度評價與信賴。KASHIYAMA 工業的乾式真空泵系列已經成為半導體制造業與液晶顯示製造行業的標準裝置。除此之外，魯式及排氣組合式真空泵裝置則在其他領域得到廣泛應用。公司包括真空泵業務和滑雪場相關業務。

荏原製作所（Ebara）

公司從事以泵等旋轉機械為中心的開發活動，成立於1912 年。公司經營三個部分：流體機械和系統，環境工程和精密機械。其流體機械和系統部門從事製造，銷售，運營和維護服務業務。其流體機械和系統產品包括泵，壓縮機，渦輪機，製冷裝置和風扇。環境工程部門

致力於提供工程，建築，操作和維護服務。其環境工程部門的產品包括城市垃圾焚燒廠，工業廢物焚燒廠和水處理廠。其精密機械部門從事製造，銷售和維護。其精密機械產品包括乾式真空泵，化學機械拋光（CMP）系統，電鍍系統和氣體減排系統。

Pfeiffer Vacuum Gmbh：普發真空在全球擁有大約 3200 名員工，並擁有 20 多家分公司。公司是德國TecDAX 指數下的上市公司之一。普發真空（Pfeiffer Vacuum）作為全球領先的真空技術解決方案的供應商之一。我們不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵， 同時還擁有各種旋片泵，多級羅茨泵，羅茨泵，氣體檢漏儀，真空計，氣體質譜儀等產品以及真空管件、腔體、泵組和高度定製化的真空系統。 從普發1958年發明渦輪分子泵至今， 我們在全球分析儀器、科研、真空鍍膜、半導體和尖端工業領域，始終代表著創新的解決方案、高品質、穩定可靠的產品和一流的服務。公司自1890年創立至今百餘年，現有3000餘名員工，20多家分公司遍佈全球，並且在德國、法國、羅馬尼亞、韓國、美國等地設有生產製造基地。普發真空技術上海有限公司主要負責中國大陸、香港、澳門地區的銷售及售後服務工作。公司現在全國各地設有常駐區域銷售及現場售後服務工程師。

其他還有：

德國SIHI希赫幹泵 ，Sihi Group B。V （Flowserve）

Busch Pumps and Systems

法國ALCATEL阿爾卡特

日本ULVAC愛發科

德國Leybold萊寶

日本ANELVA安耐華

臺灣Hanbell漢鍾

日本OSAKA大阪

受益政策、資金、市場助力與晶圓廠密集投資期 、資金、市場助力與晶圓廠密集投資期，當前中國半導體裝置迎來發展機遇 ， 政策 、 資金 、 市場是三大助力因素：

（1） 政策扶持： ：早在2008年出臺的“02專項”實現國產半導體裝置從零到一大跨越。取得了顯著階段成果，包括服務全球的65-28nm先進製程工藝、高密度封裝技術、30多種高階裝置等。近幾年政府也先後出臺《國家積體電路產業發展推進綱要》、《鼓勵積體電路產業發展企業所得稅政策》等政策，從稅收、資金等各個維度為半導體產業給予扶持。

（2）） 資金支援 ：大基金一期投資完畢，注資領域重點在晶圓代工領域，其中代工企業晶圓廠擴產以及先進製程工藝提升均需採購跟多數量以及更為先進的半導體裝置，目前國內半導體裝置在300mm晶圓以及28nm工藝已經具備全球競爭力水平，隨著14nm工藝裝置完成驗證以及商用，國內半導體裝置製造商有望新一輪晶圓製造投資。 同時，近 期大基金二期投資公司已經正式成立，註冊資本超 大基金二期投資公司已經正式成立，註冊資本超000億元 億元 ， 未來有望繼續帶動半導體裝置產業投資。

（3） 下游市場： ：中國為最主要的全球半導體需求市場，根據WSTS資料，2018年中國大陸半導體銷售額佔全球銷售額佔比為34%，根據Wind統計，近年來中國半導體裝置銷售額佔全球比重不斷提升，但至2018年也僅有20%，仍有不小提升空間。三大因素助力中國內地晶圓製造產線增加 ，帶來半導體裝置投資機遇 。根據我們的統計（截至2019年4月），中國內地目前在建的晶圓廠：12寸晶圓廠共15條，投資額合計5688億元；8寸晶圓廠共6條，投資額合計247億元。另外計劃建設的晶圓廠13條，其中有披露投資額的合計4946億元。而晶圓廠裝置採購時間一般為投產前1年左右開始，投產後1年完成相關晶圓廠裝置採購，帶來了半導體裝置投資機遇

半導體真空幹泵作為必備裝置，也將獲得巨大的增長。當前絕大部分為進口，國產率不到 5%，國產替代空間廣闊。

中科儀公司是國內唯一能夠為積體電路工藝裝置製造廠商和 FAB 工廠批次生產真空幹泵的公司，技術領先優勢明顯，研發費用常年在營收的15%以上。

2019年研發費用預計達到近5000萬。

公司匯聚了國內外優秀研發人才，由特聘院士、外聘專家及高階工程師等組成了一支有豐富研發及產業化經驗、技術過硬、年齡及專業結構合理的研發團隊。公司目前擁有研發人員 110 人 ， 佔公司員工總數的 27% ，碩士及以上學歷的佔研發人員的 35% ，平均具備 5 5- -0 10 年的真空行業從業經驗，現有 外聘 專家 12人。其中公司的真空幹泵事業部負責真空幹泵的研發及產業化，現有研發人員1 51 人，碩士及以上學歷佔真空幹泵事業部研發人員的 40% ，現有 外聘 專家 6 6 人，包括外國專家 4 4 人，研發隊伍擁有深厚的行 業背景。

公司的核心技術是高真空、超高真空和潔淨真空技術。公司是我國真空技術領域的 領軍 企業，共獲得國家科技進步特等、二等、三等獎5 5 項，省部級科技進步獎18 項，多項產品填補國內空白。公司的真空幹泵產品獲國家重大專項立項支援，具有完全自主智慧財產權，可替代進口，目前已在中芯國際 、長江儲存、華力微電子、中微半導體、北方華創、瀋陽拓荊等積體電路晶片製造企業及裝備製造企業批次應用。

公司目前 擁有有效授權 專利67 項，其中 有效授權 發明專利 59 項。

公司生產的科研儀器裝置擁有國內領先水平，是國家重大科技基礎設施中真空工程的主要供應商，極高真空離子泵產品技術水平處於行業領先地位。公司是國內第三代半導體材料碳化矽晶體生長爐的主要供應商。

公司預計 2019 年、2020 年將保持 30%以上的增長水平。

公司與 中芯國際首次合作開始於 2016 年，也是公司產品首次在國內最大的積體電路製造企業推廣應用 ， 截至目前 累計 銷售 真空幹泵 400 餘 臺；公司與長江儲存 7 2017 年開始合作，截至目前 累計 銷售 真空幹泵 6 40 餘臺； 公司與上海 華力於 2018 年開始合作， 截至目前 累計 銷售 真空幹泵 225 臺； 公司與 北方華創 2016 年開始合作，截至目前 累計 銷售 真空幹泵 800 餘臺；公司與隆基股份 份 2017 年開始合作，截至目前 累計 銷售 真空幹泵 1500 餘臺 。

2017 年以來，公司真空幹泵產品銷售呈爆發式增長， 年均 增長速度已超100% ， 2019 年 年 1 - 11 月銷量已達 2，381 臺 ，預計 2019 年度達到 2，67 6臺 。 2019年 公司真空 幹泵產能在 2，000 臺年左右 。預計 2020 年的最低訂單量 7，284 臺。

中科儀2018年收入為2。22億，大約一半來自真空泵，銷量為1196臺，因此估算一臺價格在10萬左右。這和阿里巴巴上的報價比較吻合。

那麼，中科儀2019年收入預計3億左右，2020年收入預計8億-10億左右，按照50%的毛利率，毛利潤大概在4-5億。

因為利潤不適合高速發展期的高科技企業，以營收來作為估值指標。參照海外半導體裝置的5倍PS估值，那麼2020年市值在50億左右。

也就是說，現在買入，年底還有翻倍的可能。

如此高的營收和利潤，中科儀上精選層的機率是很高的。

那麼，中科儀是否有機會上科創板呢？

對照五條標準：

（一）預計市值不低於人民幣10億元，最近兩年淨利潤均為正且累計淨利潤不低於人民幣5000萬元，或者預計市值不低於人民幣10億元，最近一年淨利潤為正且營業收入不低於人民幣1億元；

（二）預計市值不低於人民幣15億元，最近一年營業收入不低於人民幣2億元，且最近三年研發投入合計佔最近三年營業收入的比例不低於15%；

（三）預計市值不低於人民幣20億元，最近一年營業收入不低於人民幣3億元，且最近三年經營活動產生的現金流量淨額累計不低於人民幣1億元；

（四）預計市值不低於人民幣30億元，且最近一年營業收入不低於人民幣3億元；

預計市值不低於人民幣40億元，主要業務或產品需經國家有關部門批准，市場空間大，目前已取得階段性成果，並獲得知名投資機構一定金額的投資。醫藥行業企業需取得至少一項一類新藥二期臨床試驗批件，其他符合科創板定位的企業需具備明顯的技術優勢並滿足相應條件。前款所稱淨利潤以扣除非經常性損益前後的孰低者為準，所稱淨利潤、營業收入、經營活動產生的現金流量淨額均指經審計的數值。

中科儀在2020年是符合條件2，如果市值繼續高漲，也符合條件4。因此，中科儀有可能在2021年申報科創板並獲批。

可見，由於市場高增長、技術的高壁壘、符合新基建的大方向、國產替代，中科儀未來幾年業績高增長的確定性非常高。從短期來看，是一個非常好的投資標的。

不過，拉長時間來看，以5-10年的長時間來看，中科儀有幾個隱憂：週期性、競爭激烈導致利潤下滑、原材料波動導致成本上升。